Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018221198) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET PROGRAMME INFORMATIQUE PERMETTANT DE GÉRER UN APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/221198    International Application No.:    PCT/JP2018/018668
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 16 01:59:59 CEST 2018
IPC: G05B 19/418
G05B 23/02
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED
株式会社フジキン
Inventors: TANNO Ryutaro
丹野 竜太郎
MATSUDA Takahiro
松田 隆博
SHINOHARA Tsutomu
篠原 努
Title: SYSTÈME, PROCÉDÉ ET PROGRAMME INFORMATIQUE PERMETTANT DE GÉRER UN APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est de permettre à un gestionnaire d'identifier intuitivement chaque composant dans un appareil de fabrication de semi-conducteur configuré à partir d'une pluralité de composants tels qu'un dispositif de commande de fluide et similaire. De plus, le but de la présente invention est de fournir des informations sur le composant identifié au gestionnaire de manière à lui permettre de connaître facilement les informations sur le composant identifié. La solution selon l'invention porte sur un système dans lequel un terminal gestionnaire (3) et un dispositif de traitement d'informations (2) sont configurés pour pouvoir communiquer l'un avec l'autre par l'intermédiaire de réseaux (NW1, NW2), le terminal gestionnaire (3) reçoit des informations sur un composant d'un appareil de fabrication de semi-conducteur (1) à partir du dispositif de traitement d'informations (2). Lorsqu'une unité de traitement spécifique (32) spécifie la position d'un composant qui constitue l'appareil de fabrication de semi-conducteur (1) dans une image capturée de l'appareil de fabrication de semi-conducteur (1), une unité de traitement de synthèse (33) génère une image synthétisée en synthétisant, avec l'image capturée, les informations sur le composant à la position du composant spécifié, et une unité d'affichage d'image (34) affiche l'image synthétisée. D'autre part, le dispositif de traitement d'informations (2) extrait les informations sur le composant au moyen de l'unité de traitement d'extraction (21) en référence à une unité de stockage d'informations de composant (2A), et transmet les informations sur le composant au terminal gestionnaire (3).