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1. (WO2018220896) COLLECTEUR À CYCLONE

Pub. No.:    WO/2018/220896    International Application No.:    PCT/JP2018/002617
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jan 30 00:59:59 CET 2018
IPC: B04C 5/04
B01D 47/00
B04C 11/00
G01N 1/02
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: TAMURA Akitake
田村 明威
Title: COLLECTEUR À CYCLONE
Abstract:
Le problème abordé par la présente invention est de permettre de recueillir de manière fiable des particules dans un gaz d'admission et d'empêcher le refoulement de brume d'eau. La solution selon l'invention concerne un collecteur à cyclone (12) qui comprend : un réceptacle (21), une partie de formation de film liquide (23) qui forme un film liquide (40) à l'intérieur du réceptacle (21) ; un trou d'admission de gaz (33) disposé sur une partie couvercle (32) ; et un tuyau de refoulement (24b). Le trou d'admission de gaz (33) s'étend vers le bas par rapport à un plan orthogonal (21B) qui est orthogonal à un axe (21A) du réceptable (21), et une ouverture (33a) du trou d'admission de gaz (33) s'ouvre sur une région autre que le film liquide (40). Le gaz d'admission provenant du trou d'admission de gaz (33) s'éjecte vers l'extérieur en direction du film liquide (40).