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1. (WO2018220809) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES

Pub. No.:    WO/2018/220809    International Application No.:    PCT/JP2017/020555
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jun 03 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/244
H01J 37/09
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: NOMAGUCHI Tsunenori
野間口 恒典
MOTOMURA Shunichi
本村 俊一
NISHINAKA Kenichi
西中 健一
AGEMURA Toshihide
揚村 寿英
Title: DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
Abstract:
La présente invention permet de détecter des électrons de signal à haute énergie qui passent à proximité d'un axe optique, par exemple, des électrons rétrodiffusés (BSE) ou des électrons secondaires (SE) dans un système optique survolteur. A cet effet, l'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées ayant une source de faisceau de particules chargées 101 pour générer un faisceau de particules chargées, une lentille d'objectif 105 pour focaliser le faisceau de particules chargées sur un échantillon, et un élément de détection de particules chargées 108 qui est disposé entre la source de faisceau de particules chargées 101 et la lentille d'objectif 105 et détecte les particules chargées produites en raison de l'interaction entre le faisceau de particules chargées et l'échantillon, la surface de détection de l'élément de détection de particules chargées 108 étant disposée sur l'axe central de la lentille d'objectif 105.