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1. (WO2018220272) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE PLAQUE MAÎTRESSE ET PLAQUE MAÎTRESSE

Pub. No.:    WO/2018/220272    International Application No.:    PCT/FI2018/050384
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 23 01:59:59 CEST 2018
IPC: G02B 5/18
G03F 7/00
G02B 27/44
B29D 11/00
G02B 27/00
G02B 27/01
Applicants: DISPELIX OY
Inventors: RAHOMÄKI, Jussi
ERDMANIS, Mikhail
VARTIAINEN, Ismo
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE PLAQUE MAÎTRESSE ET PLAQUE MAÎTRESSE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'une plaque maîtresse destinée à la fabrication de structures diffractives, et une plaque maîtresse correspondante. Le procédé comprend la fourniture d'un substrat (10) comprenant un empilement (12) de couches de gravure sélective (12A-C, 14A-C) et la fourniture d'une couche de masque de gravure (16) sur le substrat (10). En outre, le procédé comprend la gravure du substrat (10) lors d'un procédé de gravure à étapes multiples par exposition du substrat (10) par morceaux à différentes zones de masque (S1 -S5) de la couche de masque (16) et l'utilisation desdites couches de gravure sélective (12A-C, 14A-C) pour produire jusqu'au substrat (10) un profil de surface modulé en hauteur défini par les zones de masque dans des dimensions latérales et par ledit empilement (12) en hauteur du substrat (10), et, enfin, la fourniture d'un réseau maître modulé en hauteur (18') sur le profil de surface, la modulation en hauteur du réseau maître (18') étant au moins partiellement définie par ledit profil de surface du substrat (10).