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1. (WO2018220271) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN RÉSEAU DE DIFFRACTION OPTIQUE À MODULATION DE HAUTEUR
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N° de publication : WO/2018/220271 N° de la demande internationale : PCT/FI2018/050383
Date de publication : 06.12.2018 Date de dépôt international : 22.05.2018
CIB :
G02B 5/18 (2006.01) ,G02B 6/00 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,G02B 27/09 (2006.01) ,C23C 16/01 (2006.01) ,C23C 16/04 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
[IPC code unknown for G02B 5/18][IPC code unknown for G02B 6][IPC code unknown for G02B 26/08][IPC code unknown for G02B 27/09][IPC code unknown for C23C 16/01][IPC code unknown for C23C 16/04][IPC code unknown for H01L 21/02]
Déposants :
DISPELIX OY [FI/FI]; Metsänneidonkuja 6 02130 Espoo, FI
Inventeurs :
VARTIAINEN, Ismo; FI
RAHOMÄKI, Jussi; FI
ERDMANIS, Mikhail; FI
Mandataire :
SEPPO LAINE OY; Itämerenkatu 3 A 00180 Helsinki, FI
Données relatives à la priorité :
2017550402.06.2017FI
Titre (EN) METHOD OF MANUFACTURING A HEIGHT-MODULATED OPTICAL DIFFRACTIVE GRATING
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN RÉSEAU DE DIFFRACTION OPTIQUE À MODULATION DE HAUTEUR
Abrégé :
(EN) The invention concerns a method of manufacturing a height-modulated optically diffractive grating. The method comprises providing a substrate and manufacturing a plurality of temporary elements of first material onto the substrate, the elements being separated by gaps and arranged as a periodic structure comprising at least two periods having different element heights. A coating layer of second material is deposited on the plurality of temporary elements such that the coating layer fills said gaps and covers said temporary elements. Then, a uniform layer of the second material is removed in order to expose said temporary elements and the first material is removed in order to form a height -modulated pattern of the second material onto the substrate as the optically diffractive grating. The invention relaxes manufacturing constraints when manufacturing gratings with locally varying diffraction efficiency.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'un réseau de diffraction optique à modulation de hauteur. Le procédé comprend la fourniture d'un substrat et la fabrication d'une pluralité d'éléments temporaires d'un premier matériau sur le substrat, les éléments étant séparés par des espaces et agencés sous la forme d'une structure périodique comprenant au moins deux périodes ayant différentes hauteurs d'élément. Une couche de revêtement d'un second matériau est déposée sur la pluralité d'éléments temporaires de telle sorte que la couche de revêtement remplisse lesdits espaces et recouvre lesdits éléments temporaires. Ensuite, une couche uniforme du second matériau est retirée afin d'exposer lesdits éléments temporaires et le premier matériau est retiré afin de former un motif à modulation de hauteur du second matériau sur le substrat en tant que réseau de diffraction optique. L'invention assouplit les contraintes de fabrication lors de la fabrication de réseaux ayant une efficacité de diffraction variable localement.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)