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1. (WO2018220067) ENSEMBLE CIBLE POUR ÉVAPORATION SÉCURISÉE ET ÉCONOMIQUE DE MATÉRIAUX FRAGILES

Pub. No.:    WO/2018/220067    International Application No.:    PCT/EP2018/064281
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/34
C23C 14/35
Applicants: OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFÄFFIKON
Inventors: KERSCHBAUMER, Joerg
BOLVARDI, Hamid
KRASSNITZER, Siegfried
ESSELBACH, Markus
Title: ENSEMBLE CIBLE POUR ÉVAPORATION SÉCURISÉE ET ÉCONOMIQUE DE MATÉRIAUX FRAGILES
Abstract:
La présente invention concerne un ensemble cible qui permet un fonctionnement sécurisé, sans fracture et économique de matériaux cibles avec une faible ténacité et/ou une faible résistance à la flexion pendant des procédés d'évaporation par arc ainsi que dans des procédés de pulvérisation cathodique. La présente invention concerne un ensemble cible pour des procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD), comprenant une cible, et un dispositif de maintien de cible (20), caractérisé en ce que la cible (10) comprend un premier verrou à baïonnette et le dispositif de maintien de cible (20) comprend un contre-corps pour le premier verrou à baïonnette de la cible et un second verrou à baïonnette pour venir en prise avec l'ensemble cible dans le moyen de refroidissement de la chambre de dépôt.