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1. (WO2018219785) PROCEDE ET SYSTEME POUR RECONSTITUER UNE INFORMATION DE COULEUR D'UN ECHANTILLON MESURE PAR PROFILOMETRIE OPTIQUE EN LUMIERE BLANCHE, ET APPLICATIONS DE CE PROCEDE

Pub. No.:    WO/2018/219785    International Application No.:    PCT/EP2018/063705
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 25 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01B 9/02
G01J 3/28
G01J 3/453
G01J 3/46
Applicants: UNITY SEMICONDUCTOR
Inventors: BOULANGER, Jean-François
PETITGRAND, Sylvain
Title: PROCEDE ET SYSTEME POUR RECONSTITUER UNE INFORMATION DE COULEUR D'UN ECHANTILLON MESURE PAR PROFILOMETRIE OPTIQUE EN LUMIERE BLANCHE, ET APPLICATIONS DE CE PROCEDE
Abstract:
Procédé pour reconstituer une information de couleur d'un échantillon mesuré par profilométrie optique en lumière blanche, comprenant une acquisition (21) d'interférogrammes en une pluralité de points ou pixels dudit échantillon, ce procédé comprenant en outre, pour au moins un point de mesure: - un calcul (22) de densité spectrale optique de l'interférogramme, - à partir de cette densité spectrale optique, une détermination d'une réflectance spectrale, - un traitement (24) de ladite réflectance spectrale pour générer une information de couleur dudit échantillon (17).