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1. (WO2018219757) DISPOSITIF CONTENANT DES COUCHES CONTENANT DE L'OXYDE MÉTALLIQUE

Pub. No.:    WO/2018/219757    International Application No.:    PCT/EP2018/063570
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 24 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/004
H01L 51/52
H05B 33/12
H01L 51/56
Applicants: EVONIK DEGUSSA GMBH
Inventors: STEIGER, Jürgen
MERKULOV, Alexey
ANSELMANN, Ralf
RENNER, Gerhard
Title: DISPOSITIF CONTENANT DES COUCHES CONTENANT DE L'OXYDE MÉTALLIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de préparation d'un dispositif, le procédé comprenant les étapes consistant à : former une première couche au-dessus d'une première électrode, la couche comprenant un oxyde métallique qui est formé par le dépôt d'une composition précurseur d'oxyde métallique qui peut être directement gravée par exposition à un rayonnement électromagnétique pour former une couche d'oxyde métallique à motifs, former éventuellement une seconde électrode sur la première couche de dispositif, le procédé comprenant en outre éventuellement la formation d'une couche comprenant des boîtes quantiques sur la partie supérieure de la première couche ou après la formation de la première couche, et un dispositif comprenant une première couche comprenant un oxyde métallique préparé par le procédé selon l'invention.