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1. (WO2018219651) CAPTEUR DE GAZ MEMS

Pub. No.:    WO/2018/219651    International Application No.:    PCT/EP2018/062765
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 17 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 27/12
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: SCHUERMANN, Gregor
Title: CAPTEUR DE GAZ MEMS
Abstract:
L'invention concerne un capteur de milieu MEMS, en particulier un capteur de gaz MEMS, comprenant au moins deux électrodes qui sont disposées de manière électriquement séparée l'une de l'autre au moyen d'une couche support, une matière sensible au milieu étant appliquée sur la couche support pour la connexion électrique des deux électrodes. Une zone de surface destinée à l’application de la matière sensible au milieu sur la couche support présente une topographie qui est adaptée à une taille de particules de la matière sensible au milieu.