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1. (WO2018219585) PROCÉDÉS ET APPAREIL DE PRÉDICTION DES PERFORMANCES D'UN PROCÉDÉ DE MESURE, PROCÉDÉ DE MESURE, ET APPAREIL

Pub. No.:    WO/2018/219585    International Application No.:    PCT/EP2018/061338
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/20
G01J 9/00
Applicants: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK INSTITUTEN
STICHTING VU
UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM
ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: WITTE, Stefan, Michiel
JANSEN, Gijsbert, Simon, Matthijs
FREISEM, Lars, Christian
EIKEMA, Kjeld, Sijbrand, Eduard
MATHIJSSEN, Simon, Gijsbert, Josephus
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL DE PRÉDICTION DES PERFORMANCES D'UN PROCÉDÉ DE MESURE, PROCÉDÉ DE MESURE, ET APPAREIL
Abstract:
Cette invention concerne un appareil de métrologie (302), comprenant une source de rayonnement à génération d'harmoniques d'ordre élevé (HHG) pour générer (310) un rayonnement UVE. Le fonctionnement de la source HHG est surveillé à l'aide d'un capteur de front d'onde (420) qui comprend un réseau à ouvertures (424, 702) et un capteur d'image (426). Un réseau (706) disperse le rayonnement traversant chaque ouverture de telle sorte que le détecteur d'image capture des positions et des intensités d'ordres de diffraction supérieurs pour différentes composantes spectrales et différents emplacements à travers le faisceau. De cette manière, le capteur de front d'onde peut être conçu pour mesurer une inclinaison de front d'onde pour de multiples harmoniques à chaque emplacement dans ledit réseau. Selon un mode de réalisation, les ouvertures sont divisées en deux sous-ensembles (A) et (B), les réseaux (706) de chaque sous-ensemble ayant une direction de dispersion différente. Les informations de front d'onde résolues spectralement (430) sont utilisées dans une commande de rétroaction (432) pour stabiliser le fonctionnement de la source HGG, et/ou pour améliorer la précision des résultats métrologiques.