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1. (WO2018219575) PROCÉDÉ D'ANALYSE D'UN GAZ PAR SPECTROMÉTRIE DE MASSE ET SPECTROMÈTRE DE MASSE
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N° de publication : WO/2018/219575 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/061159
Date de publication : 06.12.2018 Date de dépôt international : 02.05.2018
CIB :
H01J 49/00 (2006.01) ,H01J 49/42 (2006.01)
[IPC code unknown for H01J 49][IPC code unknown for H01J 49/42]
Déposants :
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Inventeurs :
ALIMAN, Michel; DE
LAUE, Alexander; DE
SCHUETZ, Andreas; DE
REUTER, Rüdiger; DE
Mandataire :
KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart, DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 208 996.229.05.2017DE
Titre (EN) METHOD FOR ANALYZING A GAS BY MASS SPECTROMETRY, AND MASS SPECTROMETER
(FR) PROCÉDÉ D'ANALYSE D'UN GAZ PAR SPECTROMÉTRIE DE MASSE ET SPECTROMÈTRE DE MASSE
(DE) VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND MASSENSPEKTROMETER
Abrégé :
(EN) The invention relates to a method for analyzing a gas by mass spectrometry, comprising the following steps: exciting ions of the gas to be analyzed in an FT ion trap, recording a first frequency spectrum (FS1) in a first measurement time interval (FFT1) during or after the excitation of the ions, wherein the first frequency spectrum (FS1) contains ion frequencies (fi) of the excited ions and interfering frequencies (fn), and recording a second frequency spectrum (FS2) in a second measurement time interval (FFT2), wherein the second frequency spectrum (FS2) contains the interfering frequencies (fn), but not the ion frequencies (fj) of the first frequency spectrum (FS1), and comparing the first frequency spectrum (FS1) with the second frequency spectrum (FS2) in order to identify the interfering frequencies (fn) in the first frequency spectrum (FS1). The invention also relates to a mass spectrometer which is suitable for carrying out the method for analyzing the gas by mass spectrometry.
(FR) L'invention concerne un procédé d'analyse d'un gaz par spectrométrie de masse. Le procédé comprend : l'excitation d'ions du gaz à analyser dans un piège à ions; la réception d'un premier spectre de fréquence (FS1) lors d'un premier intervalle de temps de mesure (FFT1) pendant ou après l'excitation des ions, le premier spectre de fréquence (FS1) contenant des fréquences d'ions (fi) des ions excités et des fréquences parasites (fn); ainsi que la réception d'un deuxième spectre de fréquence (FS2) lors d'un deuxième intervalle de temps de mesure (FFT2), le deuxième spectre de fréquence (FS2) contenant les fréquences parasites (fn) mais pas les fréquences d'ions (fj) du premier spectre de fréquence (FS1); ainsi que la comparaison du premier spectre de fréquence (FS1) et du deuxième spectre de fréquence (FS2) afin d'identifier les fréquences parasites (fn) dans le premier spectre de fréquence (FS1). L'invention concerne également un spectromètre de masse qui est adapté pour mettre en œuvre le procédé d'analyse du gaz par spectrométrie de masse.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases, umfassend: Anregen von Ionen des zu untersuchenden Gases in einer FT-Ionenfalle, Aufnehmen eines ersten Frequenz-Spektrums (FS1) in einem ersten Messzeitintervall (FFT1) während oder nach dem Anregen der Ionen, wobei das erste Frequenz-Spektrum (FS1) Ionen-Frequenzen (fi) der angeregten Ionen und Störfrequenzen (fn) enthält, sowie Aufnehmen eines zweiten Frequenz-Spektrums (FS2) in einem zweiten Messzeitintervall (FFT2), wobei das zweite Frequenz-Spektrum (FS2) die Störfrequenzen (fn), aber nicht die Ionen-Frequenzen (fj) des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) enthält, sowie Vergleichen des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) mit dem zweiten Frequenz-Spektrum (FS2) zum Identifizieren der Störfrequenzen (fn) in dem ersten Frequenz-Spektrum (FS1). Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer, welches geeignet ist, das Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung des Gases durchzuführen.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)