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1. (WO2018219484) TROUS D'INTERCONNEXION TRAVERSANT LE SILICIUM MÉTALLIQUES SUPRACONDUCTEURS
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N° de publication : WO/2018/219484 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/081792
Date de publication : 06.12.2018 Date de dépôt international : 07.12.2017
CIB :
H01L 21/768 (2006.01) ,H01L 23/48 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
70
Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun, ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci; Fabrication de dispositifs à circuit intégré ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci
71
Fabrication de parties spécifiques de dispositifs définis en H01L21/7089
768
Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
23
Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
48
Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
Déposants :
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; New Orchard Road Armonk, New York 10504, US
IBM UNITED KINGDOM LIMITED [GB/GB]; PO Box 41, North Harbour Portsmouth Hampshire PO6 3AU, GB (MG)
Inventeurs :
ABRAHAM, David; US
COTTE, John, Michael; US
Mandataire :
GRAHAM, Timothy; GB
Données relatives à la priorité :
15/609,86031.05.2017US
Titre (EN) SUPERCONDUCTING METAL THROUGH-SILICON-VIAS
(FR) TROUS D'INTERCONNEXION TRAVERSANT LE SILICIUM MÉTALLIQUES SUPRACONDUCTEURS
Abrégé :
(EN) A semiconductor structure and methods of forming the semiconductor structure generally includes providing a thermocompression bonded superconducting metal layer sandwiched between a first silicon substrate and a second silicon substrate. The second substrate includes a plurality of through silicon vias to the thermocompression bonded superconducting metal layer. A second superconducting metal is electroplated into the through silicon vias using the thermocompression bonded superconducting metal layer as a bottom electrode during the electroplating process, wherein the filling is from the bottom upwards.
(FR) L'invention concerne une structure semi-conductrice et des procédés de formation de la structure semi-conductrice comprenant généralement la fourniture d'une couche métallique supraconductrice liée par thermocompression prise en sandwich entre un premier substrat de silicium et un second substrat de silicium. Le second substrat comprend une pluralité de trous d'interconnexion traversants le silicium à la couche métallique supraconductrice liée par thermocompression. Un second métal supraconducteur est électrodéposé dans les trous d'interconnexion traversants le silicium à l'aide de la couche métallique supraconductrice liée par thermocompression en tant qu'électrode inférieure pendant le processus d'électrodéposition, le remplissage étant du bas vers le haut.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)