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1. (WO2018219302) APPAREIL DE MANIPULATION ET PROCÉDÉ DE MANIPULATION ASSOCIÉ

Pub. No.:    WO/2018/219302    International Application No.:    PCT/CN2018/089071
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/677
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: ZHANG, Yudi
张玉地
ZHEN, Jing
甄静
Title: APPAREIL DE MANIPULATION ET PROCÉDÉ DE MANIPULATION ASSOCIÉ
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de manipulation et un procédé de manipulation associé. L'appareil de manipulation comprend un mécanisme de transport mobile; un mesa de support ayant une surface de support parallèle à l'horizon et utilisé pour supporter des objets à manipuler, la surface de support ayant, définies sur celle-ci, de multiples positions de travail de support dans la direction circonférentielle, les positions de travail de support étant utilisées pour placer les objets à manipuler, et le mesa de support étant disposé au centre de celle-ci avec un trou traversant; un mécanisme de préhension utilisé pour saisir et placer les objets à manipuler, le mécanisme de préhension s'étendant à travers le trou traversant pour être relié au mécanisme de transport; et un mécanisme d'entraînement utilisé pour entraîner le mésa de support à tourner horizontalement sur le mécanisme de transport. L'appareil de manipulation et le procédé de manipulation associé selon la présente invention permettent au mécanisme de préhension d'avoir une même trajectoire à chaque fois lors de la saisie de l'objet à manipuler sur la position de travail de support d'une zone de saisie/placement cible, ce qui permet d'augmenter l'efficacité de manipulation de l'appareil de manipulation.