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1. (WO2018218724) CHAMBRE DE RÉACTION ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE L'ÉTAT D'UNE PIÈCE TRAITÉE DANS LA CHAMBRE DE RÉACTION

Pub. No.:    WO/2018/218724    International Application No.:    PCT/CN2017/090797
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jun 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 11/30
H01L 21/66
Applicants: BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD.
北京北方华创微电子装备有限公司
Inventors: XIAO, Dezhi
肖德志
JU, Li
琚里
Title: CHAMBRE DE RÉACTION ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE L'ÉTAT D'UNE PIÈCE TRAITÉE DANS LA CHAMBRE DE RÉACTION
Abstract:
La présente invention concerne une chambre de réaction, un mandrin (23) utilisé pour supporter une pièce traitée (22) étant disposé à l'intérieur de celle-ci, la chambre de réaction comprenant également un appareil d'interférence de granularité utilisé pour détecter l'état de la surface de la pièce traitée (22) ; l'appareil d'interférence de granularité comprend une source de lumière (29), un convertisseur optique-électrique (34) et un processeur (35) ; le signal optique émis par la source de lumière (29) est divisé en une lumière d'objet et une lumière de référence ; la lumière d'objet est transmise à la surface de la pièce traitée et, après avoir été réfléchie, est transmise au convertisseur optique-électrique (34), et la lumière de référence n'est pas réfléchie par la surface de la pièce traitée (22) mais est directement transmise au convertisseur optique-électrique (34) ; le convertisseur optique-électrique (34) est utilisé pour convertir les signaux optiques reçus de la lumière d'objet et de la lumière de référence en signaux électriques et les envoyer au processeur (35) ; et le processeur (35) est utilisé pour acquérir une frange d'interférence de granularité sur la base des signaux électriques afin de déterminer l'état de la pièce traitée (22) sur la base de la frange d'interférence de granularité et ainsi augmenter la précision de détection de l'état de la pièce traitée (22).