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1. (WO2018218612) EXTENSION DE LA DURÉE DE VIE DE TRESSES DE MISE À LA TERRE DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT PECVD
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N° de publication : WO/2018/218612 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/086853
Date de publication : 06.12.2018 Date de dépôt international : 01.06.2017
CIB :
C23C 16/50 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
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REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
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Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
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caractérisé par le procédé de revêtement
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au moyen de décharges électriques
Déposants :
SU, Xiaoming [CN/CN]; CN (KP)
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
SU, Xiaoming; CN
SHANG, Zeren; CN
GUI, Yi; US
TINER, Robin L.; US
SUN, Shih Yao; TW
Mandataire :
LECOME INTELLECTUAL PROPERTY AGENT LTD.; Floor 16,Tower B of IN.DO Mansion No.48-Jia Zhichun Road, Haidian District Beijing 100098, CN
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EXTEND GROUND STRAPS LIFETIME IN PECVD PROCESS CHAMBER
(FR) EXTENSION DE LA DURÉE DE VIE DE TRESSES DE MISE À LA TERRE DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT PECVD
Abrégé :
(EN) A substrate processing chamber (102) includes a plurality of ground straps (130) coupled to the substrate support (118) and chamber floor. A first end (234) of the ground strap (130) is vertically offset from a second end (236) of the ground strap (130). A substrate processing chamber (102) includes one or more ceramic plates (590) coupled to an outer perimeter of the substrate support (118) to reduce film deposition on the chamber walls (106), substrate support (118), and ground straps (130). A substrate processing chamber (102) includes one or more ground straps (130) coupled to the substrate support (118) and chamber floor. Each ground strap (130) includes an L-type block (462, 472) at one or both ends to reduce the exposed length of the ground strap (130). The apparatus extend ground strap lifetime, improve overall chamber performance, and reduce RF frequency variation in the chamber.
(FR) La présente invention concerne une chambre de traitement de substrat (102) comprenant une pluralité de tresses de mise à la terre (130) couplées au support de substrat (118) et au sol de chambre. Une première extrémité (234) de la tresse de mise à la terre (130) est décalée verticalement d'une seconde extrémité (236) de la tresse de mise à la terre (130). Une chambre de traitement de substrat (102) comprend une ou plusieurs plaques de céramique (590) accouplées à un périmètre externe du support de substrat (118) afin de réduire le dépôt de film sur les parois de la chambre (106), sur le support de substrat (118) et sur les tresses de mise à la terre (130). Une chambre de traitement de substrat (102) comprend une ou plusieurs tresses de mise à la terre (130) couplées au support de substrat (118) et au sol de chambre. Chaque tresse de mise à la terre (130) comprend un bloc en L (462, 472) à l'une et/ou à l'autre extrémité afin de réduire la longueur exposée de la tresse de mise à la terre (130). L'appareil prolonge la durée de vie de la tresse de mise à la terre, améliore la performance globale de la chambre et réduit la variation de fréquence RF dans la chambre.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)