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1. (WO2018204963) PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION DE NANOFILS DE SILICIUM MODIFIÉS PAR DES MÉTAUX PRÉCIEUX

Pub. No.:    WO/2018/204963    International Application No.:    PCT/AT2018/060091
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 21/65
C23C 14/00
C23C 14/06
B82Y 40/00
B82Y 15/00
C23C 14/20
Applicants: TECHNISCHE UNIVERSITÄT WIEN
Inventors: MÜLLER, Danny
KNOLL, Christian
WEINBERGER, Peter
OFNER, Johannes
BITTNER, Roland
LENDL, Bernhard
HOFFMANN, Helmuth
Title: PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION DE NANOFILS DE SILICIUM MODIFIÉS PAR DES MÉTAUX PRÉCIEUX
Abstract:
L'invention concerne un procédé pour la fabrication de nanofils de silicium modifiés par des métaux précieux, comprenant une étape de production des nanofils de silicium dans une plaquette de silicium par gravure humide chimique catalysée par l'argent, ainsi qu'une étape de dépôt d'un ou plusieurs métaux précieux sur la surface du nanofil, caractérisé en ce que des nanofils de silicium recouverts d'or sont fabriqués, en ce que a) les nanofils de silicium sont d'abord produits par gravure humide chimique catalysée par l'argent avec une solution de gravure, la concentration et la durée d'action de la solution de gravure sont coordonnées de telle façon que les nanofils sont formés avec une longueur < 15 μm; et b) les nanofils obtenus sont ensuite recouverts par pulvérisation cathodique d'or, comme métal précieux, la durée du revêtement par pulvérisation cathodique étant choisie de telle façon qu'une couche d'or d'une épaisseur comprise entre 20 et 130 nm est formée.