Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018204651) MESURE INTÉGRÉE DE LA TEMPÉRATURE D'UN SUBSTRAT SUR UN ÉLÉMENT CHAUFFANT EN CÉRAMIQUE À HAUTE TEMPÉRATURE

Pub. No.:    WO/2018/204651    International Application No.:    PCT/US2018/030899
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/683
H01L 21/67
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: ZHANG, Yizhen
CHOUDHURY, Rupankar
PINSON, Jay, D.
SCHALLER, Jason, M.
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish, Kumar
Title: MESURE INTÉGRÉE DE LA TEMPÉRATURE D'UN SUBSTRAT SUR UN ÉLÉMENT CHAUFFANT EN CÉRAMIQUE À HAUTE TEMPÉRATURE
Abstract:
Des modes de réalisation de la présente invention concernent un système de surveillance de température de substrat permettant de surveiller directement la température d'un substrat pendant un processus de dépôt assisté par plasma, tel qu'un processus de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). Dans un mode de réalisation, un ensemble de support de substrat comprend un arbre de support, un support de substrat disposé sur l'arbre de support, et un système de surveillance de température de substrat pour mesurer une température d'un substrat à disposer sur le support de substrat. Le système de surveillance de température de substrat comprend un tube de fibre optique, un guide de lumière couplé au tube de fibre optique, et un ensemble de refroidissement disposé autour d'une jonction du tube de fibre optique et du guide de lumière. Au moins une partie du guide de lumière est disposée dans une ouverture s'étendant à travers l'arbre de support et dans le support de substrat et l'ensemble de refroidissement maintient le tube de fibre optique à une température inférieure à environ 100 °C pendant le traitement du substrat.