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1. (WO2018204570) ENSEMBLE AIMANT À TRAJET DE RETOUR AJUSTABLE FLEXIBLE ET PROCÉDÉS

Pub. No.:    WO/2018/204570    International Application No.:    PCT/US2018/030778
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/34
C23C 14/35
Applicants: CARDINAL CG COMPANY
Inventors: HARTIG, Klaus, H.W.
Title: ENSEMBLE AIMANT À TRAJET DE RETOUR AJUSTABLE FLEXIBLE ET PROCÉDÉS
Abstract:
L'invention concerne un ensemble cathode de pulvérisation, qui comprend une chambre de pulvérisation, une cible de pulvérisation et un ensemble aimant. L'ensemble aimant comprend une plaque de support magnétique comprenant un corps de commande magnétique flexible allongé ou une pluralité de feuilles métalliques stratifiées.