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1. (WO2018204364) PROCÉDÉ DE MESURE DE STRUCTURES MULTICOUCHES
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N° de publication : WO/2018/204364 N° de la demande internationale : PCT/US2018/030454
Date de publication : 08.11.2018 Date de dépôt international : 01.05.2018
CIB :
G01B 11/06 (2006.01) ,G01B 11/22 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06
pour mesurer l'épaisseur
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
22
pour mesurer la profondeur
Déposants :
LUMETRICS, INC. [US/US]; Eagle's Landing Business Park 1565 Jefferson Road, #420 Rochester, NY 14623, US
Inventeurs :
MARCUS, Michael, A.; US
GIBSON, Donald, S.; US
HADCOCK, Kyle, J.; US
IGNATOVIC, Filipp, V.; US
Mandataire :
HAMMOND, John, M.; US
Données relatives à la priorité :
15/585,49503.05.2017US
Titre (EN) METHOD OF MEASUREMENT OF MULTILAYER STRUCTURES
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE DE STRUCTURES MULTICOUCHES
Abrégé :
(EN) A method of identifying the material and determining the physical thickness of each layer in a multilayer structure is disclosed. The method includes measuring the optical thickness of each of the layers of the multilayer object as a function of wavelength of a light source and calculating a normalized group index of refraction dispersion curve for each layer in the multilayer structure. The measured normalized group index of refraction dispersion curves for each of the layers is then compared to a reference data base of known materials and the material of each layer is identified. The physical thickness of each layer is then determined from the group index of refraction dispersion curve for the material in each layer and the measured optical thickness data. A method for determining the group index of refraction dispersion curve of a known material is also disclosed.
(FR) L'invention concerne un procédé permettant d'identifier le matériau et de déterminer l'épaisseur physique de chaque couche d'une structure multicouche. Le procédé consiste à mesurer l'épaisseur optique de chacune des couches de l'objet multicouche en tant que fonction de la longueur d'onde d'une source lumineuse, et à calculer pour chaque couche de la structure multicouche une courbe de dispersion normalisée de l'indice de réfraction de groupe. Les courbes de dispersion normalisées de l'indice de réfraction de groupe pour chacune des couches sont ensuite comparées à une base de données de référence de matériaux connus, et le matériau de chaque couche est identifié. L'épaisseur physique de chaque couche est ensuite déterminée à partir de la courbe de dispersion de l'indice de réfraction de groupe pour le matériau de chaque couche et des données d'épaisseur optique mesurées. L'invention concerne également un procédé de détermination de la courbe de dispersion de l'indice de réfraction de groupe d'un matériau connu.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)