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1. (WO2018203936) INTERACTIONS DE COULOMB RÉDUITES DANS UNE COLONNE À FAISCEAUX MULTIPLES

Pub. No.:    WO/2018/203936    International Application No.:    PCT/US2018/013425
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jan 13 00:59:59 CET 2018
IPC: H01J 37/317
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: BRODIE, Alan D.
Title: INTERACTIONS DE COULOMB RÉDUITES DANS UNE COLONNE À FAISCEAUX MULTIPLES
Abstract:
Selon la présente invention, la performance d'un système à faisceaux d'électrons multiples peut être améliorée par réduction des effets de Coulomb dans le trajet d'éclairage d'un système d'inspection à faisceaux multiples. Une ouverture de limitation de faisceau comprenant de multiples trous peut être placée entre une source de faisceaux d'électrons et un réseau multi-lentilles, par exemple dans une région sans champ. L'ouverture de limitation de faisceau est destinée à réduire les interactions de Coulomb entre la source de faisceaux d'électrons et le réseau multi-lentilles. Un système à faisceaux d'électrons comprenant l'ouverture de limitation de faisceau peut être utilisé dans un microscope électronique à balayage.