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1. (WO2018203524) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
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N° de publication : WO/2018/203524 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/017191
Date de publication : 08.11.2018 Date de dépôt international : 27.04.2018
CIB :
H01L 21/673 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673
utilisant des supports spécialement adaptés
Déposants :
ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都豊島区東池袋1丁目24番1号 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013, JP
Inventeurs :
松鳥 千明 MATSUTORI Chiaki; JP
Mandataire :
正林 真之 SHOBAYASHI Masayuki; JP
林 一好 HAYASHI Kazuyoshi; JP
岩池 満 IWAIKE Mitsuru; JP
Données relatives à la priorité :
PCT/JP2017/01724402.05.2017JP
Titre (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Abrégé :
(EN) This substrate storage container is provided with: a container body 2; a lid body which can be attached to and detached from an opening portion of the container body and which can close the opening portion of the container body; a gas flow path 210 which can connect a substrate storage space 27 and a space outside the container body 2; and a gas jetting nozzle part 8 having a plurality of opening portions 802 through which a gas having flowed in the gas flow path 210 is supplied to the substrate storage space 27, wherein a gas-flow-rate uniformizing unit that allows outflow of the gas from the plurality of opening portions 802 at a uniformized flow rate, is included.
(FR) L'invention concerne un récipient de stockage de substrat comprenant : un corps de récipient 2; un corps de couvercle qui peut être fixé à une partie d'ouverture du corps de récipient et détaché de celle-ci et qui peut fermer la partie d'ouverture du corps de récipient; un trajet d'écoulement de gaz 210 qui peut relier un espace de stockage de substrat 27 et un espace à l'extérieur du corps de récipient 2; et une partie de buse d'éjection de gaz 8 ayant une pluralité de parties d'ouverture 802 à travers lesquelles un gaz ayant circulé dans le trajet d'écoulement de gaz 210 est fourni à l'espace de stockage de substrat 27, une unité d'uniformisation de débit de gaz qui permet l'écoulement du gaz à partir de la pluralité de parties d'ouverture 802 à un débit uniformisé est incluse.
(JA) 基板収納容器は、容器本体2と、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、基板収納空間27と容器本体2の外部の空間とを連通可能な通気路210と、通気路210に流入した気体を基板収納空間27に供給する複数の開口部802を有する気体噴出ノズル部8と、を備え、複数の開口部802から均一化された流量で気体を流出可能とする気体流量均一化部を有する基板収納容器である。
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)