Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018203508) APPAREIL DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT

Pub. No.:    WO/2018/203508    International Application No.:    PCT/JP2018/016986
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Apr 27 01:59:59 CEST 2018
IPC: B23K 26/08
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: SHIBAZAKI, Yuichi
柴崎 祐一
Title: APPAREIL DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de traitement qui comprend : un système de premier étage ayant une table (12) sur laquelle est montée une pièce (W), le système de premier étage déplaçant la pièce maintenue sur la table ; un système (500) d'exposition à un rayonnement de faisceau comprenant un système optique de condensation (530) permettant d'émettre un faisceau (LB) ; et un dispositif de commande permettant de commander le système de premier étage et le système d'exposition à un rayonnement ; le traitement étant effectué sur une partie cible de la pièce tandis que la table et le faisceau provenant du système optique de condensation sont déplacés l'un par rapport à l'autre, et il est possible de modifier la répartition de l'intensité du faisceau sur une première surface (MP) sur un côté de surface d'émission du système optique de condensation et/ou la répartition de l'intensité du faisceau sur une seconde surface dans une position différente dans la direction de l'axe optique (AX) du système optique de condensation de celle de la première surface.