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1. (WO2018203454) CREUSET DE VERRE DE QUARTZ ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ

Pub. No.:    WO/2018/203454    International Application No.:    PCT/JP2018/014047
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: C30B 29/06
C03B 20/00
C30B 15/10
Applicants: SUMCO CORPORATION
株式会社SUMCO
Inventors: KISHI Hiroshi
岸 弘史
HASEBE Kouta
長谷部 幸太
ABE Takahiro
安部 貴裕
FUJIWARA Hideki
藤原 秀樹
KITAHARA Eriko
北原 江梨子
Title: CREUSET DE VERRE DE QUARTZ ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ
Abstract:
La présente invention concerne un creuset de verre de quartz qui peut supporter une étape de tirage de monocristaux nécessitant une très longue période de temps telle qu'un tirage multiple, et un procédé de production du creuset de verre de quartz. L'invention concerne un creuset de verre de quartz 1 qui est pourvu d'un corps de creuset cylindrique avec un fond 10 fait de verre de quartz, et de films de revêtement contenant un agent d'accélération cristallisé 13A, 13B qui sont formés sur la surface du corps de creuset 10 de telle sorte qu'une couche concentrée d'agent d'accélération cristallisé est formée près de la surface du corps de creuset 10 par chauffage pendant le processus de tirage de monocristaux de silicium au moyen du procédé de Czochralski.