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1. (WO2018203448) PROCÉDÉ DE COUPE DE PIÈCE À USINER ET ÉLÉMENT D'ASSEMBLAGE

Pub. No.:    WO/2018/203448    International Application No.:    PCT/JP2018/010922
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Mar 21 00:59:59 CET 2018
IPC: B24B 27/06
B24B 53/00
B28D 5/04
B28D 7/04
H01L 21/304
Applicants: SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD.
信越半導体株式会社
Inventors: TOYODA Shiro
豊田 史朗
Title: PROCÉDÉ DE COUPE DE PIÈCE À USINER ET ÉLÉMENT D'ASSEMBLAGE
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de coupe de pièce à usiner à base de scie à fil dans lequel un fil de particules abrasives fixes, à la surface duquel sont fixées des particules abrasives, est enroulé autour d'une pluralité de rouleaux rainurés pour former un réseau de fils, et, tout en déplaçant en va-et-vient le fil de particules abrasives fixes dans la direction axiale de ce dernier, une pièce à usiner maintenue par un moyen de maintien de pièce à usiner par l'intermédiaire d'un élément d'assemblage fixé à la pièce à usiner est distribuée vers le réseau de fils et est coupée par ce dernier, ce qui permet de couper simultanément la pièce à usiner à une pluralité d'emplacements le long de la direction axiale de cette dernière, un élément d'assemblage constitué partiellement d'une meule étant utilisé de telle sorte que, après que la pièce à usiner a fini d'être coupée et avant que la pièce à usiner soit retirée du réseau de fils, le fil de particules abrasives fixes est abrasé par la meule formant l'élément d'assemblage. Par conséquent, l'invention concerne un procédé de coupe de pièce à usiner qui permet de supprimer la formation de marques de scie et l'apparition d'une rupture de fil provoquée par le fil de particules abrasives fixe qui s'accroche sur la pièce à usiner lorsque le fil est retiré après que la pièce a été coupée.