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1. (WO2018203246) DISPOSITIF ÉLECTRO-OPTIQUE À MATÉRIAUX DE GAIN III-V ET DISSIPATEUR THERMIQUE INTÉGRÉ

Pub. No.:    WO/2018/203246    International Application No.:    PCT/IB2018/053033
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 33/64
H01S 5/323
Applicants: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
IBM UNITED KINGDOM LIMITED
IBM (CHINA) INVESTMENT COMPANY LIMITED
Inventors: CAER, Charles
HAHN, Herwig
Title: DISPOSITIF ÉLECTRO-OPTIQUE À MATÉRIAUX DE GAIN III-V ET DISSIPATEUR THERMIQUE INTÉGRÉ
Abstract:
L'invention concerne un dispositif électro-optique ayant deux composants de tranche et un procédé de fabrication du dispositif. Un premier composant de tranche comprend un substrat de silicium et une couche de placage sur le dessus de celui-ci. La couche de gainage comprend une cavité formée à l'intérieur, la cavité étant remplie d'un dissipateur thermique électroisolant, qui a une conductivité thermique supérieure à celle de la couche de gainage. Le second composant de tranche comprend un empilement de matériaux de gain semi-conducteur III-V, conçu pour l'amplification optique d'un rayonnement donné. Le second composant de tranche est lié au premier composant de tranche, de telle sorte que l'empilement de matériaux de gain semi-conducteur III-V est en communication thermique avec le diffuseur thermique. De plus, le diffuseur thermique a un indice de réfraction qui est inférieur à chacun de l'indice de réfraction du substrat de silicium et de l'indice de réfraction moyen de l'empilement de matériaux de gain semi-conducteur III-V pour ledit rayonnement donné.