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1. (WO2018202949) APPAREIL ÉQUIPÉ D'UNE SOUPAPE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT
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N° de publication : WO/2018/202949 N° de la demande internationale : PCT/FI2018/050317
Date de publication : 08.11.2018 Date de dépôt international : 02.05.2018
CIB :
C23C 16/455 (2006.01) ,C23C 16/54 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44
caractérisé par le procédé de revêtement
455
caractérisé par le procédé utilisé pour introduire des gaz dans la chambre de réaction ou pour modifier les écoulements de gaz dans la chambre de réaction
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44
caractérisé par le procédé de revêtement
54
Appareillage spécialement adapté pour le revêtement en continu
Déposants :
PICOSUN OY [FI/FI]; Tietotie 3 02150 Espoo, FI
Inventeurs :
PUDAS, Marko; FI
Mandataire :
ESPATENT OY; Kaivokatu 10 D 00100 Helsinki, FI
Données relatives à la priorité :
PCT/FI2017/05033602.05.2017FI
Titre (EN) APPARATUS WITH A VALVE AND METHOD OF OPERATION
(FR) APPAREIL ÉQUIPÉ D'UNE SOUPAPE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT
Abrégé :
(EN) An apparatus, comprising a reaction chamber to accommodate a substrate (600) to be processed, and a pulsing valve (100, 300, 900, 900', 900'', 900*) fluidly connected to the reaction chamber (530, 1430). The pulsing valve comprises a reactive chemical inlet (101, 901, 901', 901'') to receive reactive chemical, a reaction chamber outlet (104, 904, 904'') to mediate provided fluid connection of the pulsing valve to the reaction chamber (530, 1430), a closure (111, 191, 991) to control fluid flow from the reactive chemical inlet (101, 901, 901', 901'') in the pulsing valve to the reaction chamber outlet (104, 904, 904''), and an additional flow channel inlet or outlet (103, 303, 903, 903', 903'') to continuously purge the closure (111, 191) through the additional flow channel during an entire substrate processing cycle or sequence.
(FR) La présente invention concerne un appareil comprenant une chambre de réaction pour accueillir un substrat (600) à traiter, et une soupape à impulsions (100, 300, 900, 900’, 900’’, 900*) en communication fluidique avec la chambre de réaction (530, 1430). La soupape à impulsions comprend un orifice d'admission de substance chimique réactive (101, 901, 901’, 901’’) pour recevoir une substance chimique réactive, un orifice de sortie de chambre de réaction (104, 904, 904’’) pour assurer la médiation de la connexion fluidique entre la soupape à impulsions et la chambre réactionnelle (530, 1430), une enceinte (111, 191, 991) pour commander l’écoulement de fluide depuis l’orifice d’admission de substance chimique réactive (101, 901, 901’, 901’’) dans la soupape à impulsions vers l’orifice de sortie de chambre de réaction (104, 904, 904’’), et un orifice d’admission ou un orifice de sortie de canal d’écoulement supplémentaire (103, 303, 903, 903’, 903’’) pour purger en continu l’enceinte (111, 191) à travers le canal d'écoulement supplémentaire durant un cycle entier ou une séquence entière de traitement de substrat.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)