Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018202656) PROCESSUS DE DÉPÔT D’UNE PELLICULE MINCE À BASE D’OXYDE DE LITHIUM ET DE COBALT

Pub. No.:    WO/2018/202656    International Application No.:    PCT/EP2018/061100
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/34
H01J 37/32
C23C 14/35
C23C 14/34
C23C 14/54
C23C 14/56
C23C 14/08
Applicants: UMICORE
Inventors: LIPPENS, Paul
Title: PROCESSUS DE DÉPÔT D’UNE PELLICULE MINCE À BASE D’OXYDE DE LITHIUM ET DE COBALT
Abstract:
L’invention concerne un processus de dépôt d’une pellicule mince à base d’oxyde de lithium et de cobalt sur un substrat selon lequel la stœchiométrie de Li (LixCoO2) peut être réglée dans les limites de 0,5 ≤ x ≤ 1,1 au moyen d’un matériau cible LiCoO2 stœchiométrique normalisé combiné à un deuxième matériau cible (Co ou CoaOb), respectivement Li ou Li2O selon le cas, soit sur un magnétron double, soit sur des magnétrons simples dans des chambres de revêtement adjacentes. Dans le cas de l’usage d’un magnétron double, un CC pulsé de préférence bipolaire dont le cycle de service est contrôlé sur chacune des deux cathodes est utilisé afin de régler la stœchiométrie du revêtement. En variante, la cible de LiCoO2 est alimentée avec un CC pulsé unipolaire à une puissance P1 et la cible de Co ou le CoaOb, respectivement Li ou Li2O, est alimentée avec un CC ou un CC pulsé unipolaire à une puissance P2 afin de régler la stœchiométrie. Dans le cas de l’usage de magnétrons simples dans des chambres de revêtement adjacentes, les charges de puissance sur les cibles de Li ou Li2O, respectivement Co ou CoaOb, respectivement Li ou Li2O, sont réglées afin d’atteindre la stœchiométrie requise.