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1. (WO2018202361) PROCÉDÉ POUR PRÉDIRE LE RENDEMENT D'UN PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2018/202361    International Application No.:    PCT/EP2018/058096
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/20
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: YPMA, Alexander
TABERY, Cyrus, Emil
VAN GORP, Simon, Hendrik, Celine
LIN, Chenxi
SONNTAG, Dag
CEKLI, Hakki, Ergun
ALVAREZ SANCHEZ, Ruben
LIU, Shih-Chin
HASTINGS, Simon, Philip, Spencer
MENCHTCHIKOV, Boris
DE RUITER, Christiaan, Theodoor
TEN BERGE, Peter
LERCEL, Michael, James
DUAN, Wei
GUITTET, Pierre-Yves, Jerome, Yvan
Title: PROCÉDÉ POUR PRÉDIRE LE RENDEMENT D'UN PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abstract:
La présente invention concerne un procédé et un programme informatique associé pour prédire une caractéristique électrique d'un substrat soumis à un traitement. Le procédé consiste à déterminer une sensibilité de la caractéristique électrique à une caractéristique de traitement, sur la base d'une analyse de données de métrologie électrique comprenant des caractéristiques électriques mesurées à partir de substrats précédemment traités et de données de métrologie de traitement comprenant des mesures d'au moins un paramètre lié à la caractéristique de traitement mesuré à partir des substrats précédemment traités ; obtenir des données de métrologie de traitement liées au substrat décrivant le ou les paramètres ; et prédire la caractéristique électrique du substrat sur la base de la sensibilité et des données de métrologie de traitement.