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1. (WO2018202085) TRANSDUCTEUR LINÉAIRE MAGNÉTO-RÉSISTIF DE TYPE À PUCE MONOLITHIQUE ET À SENSIBILITÉ ÉLEVÉE

Pub. No.:    WO/2018/202085    International Application No.:    PCT/CN2018/085479
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01R 33/09
Applicants: MULTIDIMENSION TECHNOLOGY CO., LTD.
江苏多维科技有限公司
Inventors: DEAK, James Geza
迪克詹姆斯·G
ZHOU, Zhimin
周志敏
Title: TRANSDUCTEUR LINÉAIRE MAGNÉTO-RÉSISTIF DE TYPE À PUCE MONOLITHIQUE ET À SENSIBILITÉ ÉLEVÉE
Abstract:
La présente invention concerne un transducteur linéaire magnéto-résistif de type à puce monolithique et à sensibilité élevée, qui comprend un substrat situé dans le plan X-Y, un réseau concentrateur de flux magnétique doux situé sur le substrat, et des réseaux d'unités de détection à magnéto-résistance +X et -X situés au-dessus ou au-dessous du réseau de concentrateurs de flux magnétique doux, le réseau de concentrateurs de flux magnétique doux comprenant une pluralité de concentrateurs de flux magnétique doux, et un espace étant formé entre deux concentrateurs de flux magnétique doux adjacents. Chacun des réseaux d'unités de détection à magnéto-résistance +X et -X comprend respectivement des unités de détection à magnéto-résistance +X et -X situées dans l'espace. Les unités de détection à magnéto-résistance +X et -X sont électriquement connectées pour former un capteur de résistance magnétique d'axe X de type symétrique, et les unités de détection à magnéto-résistance, ayant la même direction sensible au champ magnétique, sont agencées de manière adjacente. Les unités de détection à magnéto-résistance sont toutes des unités à magnéto-résistance MTJ et ont la même structure de film multicouche magnétique. Le recuit magnétique programmé au laser est réalisé, et des points laser balayent les réseaux d'unités de détection à magnéto-résistance le long de la direction d'axe long de l'espace. L'invention présente les avantages d'une petite taille, d'une grande précision et d'une faible consommation d'énergie.