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1. (WO2018201911) PROCÉDÉ DE CARACTÉRISATION IN SITU PAR DIFFRACTION DES RAYONS X POUR ORIENTATION DE CROISSANCE DE CRISTAUX DE FILM MINCE

Pub. No.:    WO/2018/201911    International Application No.:    PCT/CN2018/083738
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Apr 20 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 23/20
Applicants: HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
合肥工业大学
Inventors: WANG, Xianghua
王向华
GU, Xun
顾勋
Title: PROCÉDÉ DE CARACTÉRISATION IN SITU PAR DIFFRACTION DES RAYONS X POUR ORIENTATION DE CROISSANCE DE CRISTAUX DE FILM MINCE
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de caractérisation in situ par diffraction des rayons X pour une orientation de croissance de cristaux de film mince comprenant : premièrement, au moyen d’un mode de balayage réflectif symétrique pour mesurer une position de pic de diffraction hors plan d’un film mince, la confirmation de caractéristiques d’orientation hors plan du film mince ; ensuite, sur la base d’un paramètre de cellule primitive initial, à proximité d’une orientation prédite, l’utilisation d’un mode de balayage réflectif asymétrique pour obtenir une position de pic de diffraction d’un groupe de face cristalline, le groupe de face cristalline et un substrat formant un angle d’inclinaison ; sur la base du paramètre de cellule primitive initial, le calcul d'une différence δ entre une position de pic de diffraction mesurée et une valeur prédite, et la réduction en continu d'une valeur de δ au moyen de la correction d’un paramètre de réseau cristallin et d’un calcul d’itération de boucle jusqu’à ce que la valeur soit suffisamment faible, de façon à obtenir des informations de paramètre de réseau cristallin plus précises. La présente invention utilise un mode de calcul assisté par ordinateur et peut atteindre une précision analytique suffisamment élevée en plusieurs secondes, et les données délivrées en sortie ainsi peuvent être directement utilisées en tant que valeur d’entrée pour un cycle de mesure suivant, par conséquent le présent procédé peut former un système de mesure et d’analyse dynamique à grande vitesse.