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1. (WO2018201529) ÉQUIPEMENT DE GRAVURE SÈCHE ET ÉLECTRODE D'ÉQUIPEMENT DE GRAVURE SÈCHE

Pub. No.:    WO/2018/201529    International Application No.:    PCT/CN2017/085154
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 20 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/32
Applicants: HKC CORPORATION LIMITED
惠科股份有限公司
CHONGQING HKC OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
重庆惠科金渝光电科技有限公司
Inventors: WEN, Chun-Bin
温俊斌
Title: ÉQUIPEMENT DE GRAVURE SÈCHE ET ÉLECTRODE D'ÉQUIPEMENT DE GRAVURE SÈCHE
Abstract:
L'invention concerne un équipement de gravure sèche (100) et une électrode de l'équipement de gravure sèche. L'électrode de l'équipement de gravure sèche comprend : une plaque d'électrode (121), une bague d'arrêt (113) et une plaque de séparation (114). Une zone de placement de composant (123) et une zone de bord entourant la zone de placement de composant (124) sont disposées sur la surface de la plaque d'électrode. La bague d'arrêt (113) est disposée dans la zone de bord (124) et est disposée à la périphérie de la zone de placement de composant (123). La plaque de séparation (114) est disposée sur le côté extérieur de la carte d'électrode (121), est adjacente à la périphérie de la bague d'arrêt (113) et comprend une pluralité de perforations (125).