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1. (WO2018201170) PROCÉDÉ PERMETTANT D’ÉTALONNER UN MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE ÉLECTROSTATIQUE HÉTÉRODYNE

Pub. No.:    WO/2018/201170    International Application No.:    PCT/AT2018/050008
Publication Date: Fri Nov 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01Q 40/00
G01Q 60/46
Applicants: UNIVERSITÄT LINZ
Inventors: GRAMSE, Georg
Title: PROCÉDÉ PERMETTANT D’ÉTALONNER UN MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE ÉLECTROSTATIQUE HÉTÉRODYNE
Abstract:
L'invention concerne un procédé permettant d'étalonner un microscope à force atomique électrostatique hétérodyne comprenant un porte-échantillon (1) et une sonde de mesure (3) en regard du porte-échantillon (1), laquelle est soumise à une tension alternative haute fréquence modulée en amplitude, les vibrations de la sonde de mesure (3) étant détectées par un détecteur laser (9) et le signal de sortie de celui-ci étant acheminé à un amplificateur à détection synchrone (10) pour produire une composante de signal dépendante de gradients de capacité entre l'échantillon (2) et la sonde de mesure (3). L'invention vise à simplifier les conditions d'étalonnage. À cet effet, l'amplitude de la composante de signal dépendante de gradients de capacité entre l'échantillon (2) et la sonde de mesure (3) est réglée à une valeur constante par une commande de l'amplitude de la tension alternative haute fréquence du générateur de signaux (6).