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1. (WO2018200920) CAPTEUR ÉLECTROCHIMIQUE EN VERRE AVEC EMPILEMENT DE NIVEAU DE TRANCHE ET INTERCONNEXIONS DE TROU D'INTERCONNEXION TRAVERSANT EN VERRE (TGV)

Pub. No.:    WO/2018/200920    International Application No.:    PCT/US2018/029732
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 27/404
G01N 27/406
H01L 21/00
Applicants: CORNING INCORPORATED
BELLMAN, Robert Alan
KING, Jeffrey Stapleton
POLLARD, Scott Christopher
Inventors: BELLMAN, Robert Alan
KING, Jeffrey Stapleton
POLLARD, Scott Christopher
Title: CAPTEUR ÉLECTROCHIMIQUE EN VERRE AVEC EMPILEMENT DE NIVEAU DE TRANCHE ET INTERCONNEXIONS DE TROU D'INTERCONNEXION TRAVERSANT EN VERRE (TGV)
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de formation d'un capteur électrochimique en verre. Dans certains modes de réalisation, le procédé peut comprendre la formation d'une pluralité de trous d'interconnexion traversants en verre (TGV) électriques dans un substrat d'électrode ; le remplissage de chaque TGV électrique par un matériau d'électrode ; la formation d'une pluralité de TGV de contact dans le substrat d'électrode ; le remplissage de chaque pluralité de TGV de contact par un matériau conducteur ; la formation de motif sur le matériau conducteur de manière à connecter les TGV électriques aux TGV de contact ; la formation d'une cavité dans une première couche de verre ; et la liaison d'un premier côté de la première couche de verre au substrat d'électrode.