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1. (WO2018200404) RÉACTEUR À PLASMA POURVU DE FILAMENTS D'ÉLECTRODE

Pub. No.:    WO/2018/200404    International Application No.:    PCT/US2018/028930
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 24 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/32
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: COLLINS, Kenneth S.
RICE, Michael R.
RAMASWAMY, Kartik
CARDUCCI, James D.
Title: RÉACTEUR À PLASMA POURVU DE FILAMENTS D'ÉLECTRODE
Abstract:
L'invention concerne un réacteur à plasma qui comprend un corps de chambre présentant un espace intérieur qui procure une chambre à plasma et présentant un plafond, un distributeur de gaz pour distribuer un gaz de traitement à la chambre à plasma, une pompe couplée à la chambre à plasma pour évacuer la chambre, un support de pièce à travailler pour maintenir une pièce à travailler tournée vers le plafond, un ensemble électrode intra-chambre qui comprend un cadre isolant et un filament s'étendant latéralement à travers la chambre à plasma entre le plafond et le support de pièce à travailler, le filament comprenant un conducteur au moins partiellement entouré par une enveloppe isolante qui s'étend à partir du cadre isolant, et une première source de puissance RF pour fournir une première puissance RF au conducteur de l'ensemble électrode intra-chambre.