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1. (WO2018200133) RÉSEAUX DE CHAÎNES DE CELLULES DE MÉMOIRE S'ÉTENDANT EN HAUTEUR ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE RÉSEAUX DE MÉMOIRE

Pub. No.:    WO/2018/200133    International Application No.:    PCT/US2018/025716
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 27/11556
H01L 27/11524
H01L 27/11529
H01L 27/11582
H01L 27/1157
H01L 27/11573
Applicants: MICRON TECHNOLOGY, INC.
Inventors: SANDHU, Gurtej, S.
HILL, Richard, J.
SMYTHE, John, A.
Title: RÉSEAUX DE CHAÎNES DE CELLULES DE MÉMOIRE S'ÉTENDANT EN HAUTEUR ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE RÉSEAUX DE MÉMOIRE
Abstract:
L'invention concerne un réseau de chaînes de cellules de mémoire s'étendant en hauteur comprenant un empilement vertical de niveaux d'isolation et de niveaux de canaux de mots en alternance. Les niveaux de canaux de mots ont des extrémités terminales correspondant à des régions de grille de commande. Un matériau de stockage de charge de cellules de mémoire individuelles s'étend en hauteur le long de régions individuelles des régions de grille de commande des niveaux de canaux de mots et ne s'étend pas en hauteur le long des niveaux d'isolation. Une région de blocage de charge des cellules de mémoire individuelles s'étend en hauteur le long des régions de grille de commande individuelles des niveaux de canaux de mots dans le sens latéral au travers desquels la migration de charge entre les régions de grille de commande individuelles et le matériau de stockage de charge est bloquée. Le matériau de canal s'étend en hauteur le long de l'empilement et est espacé dans le sens latéral par rapport au matériau de stockage de charge par un matériau de passage de charge d'isolation. La totalité du matériau de stockage de charge des chaînes individuelles des chaînes de cellules de mémoire s'étendant en hauteur est dirigée dans le sens latéral vers l'extérieur par rapport à la totalité du matériau de passage de charge d'isolation des chaînes individuelles de cellules de mémoire s'étendant en hauteur. L'invention concerne d'autres modes de réalisation, y compris des modes de réalisation de procédés.