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1. (WO2018199037) SUBSTRAT DE MATRICE ACTIVE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI

Pub. No.:    WO/2018/199037    International Application No.:    PCT/JP2018/016489
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 24 01:59:59 CEST 2018
IPC: G09F 9/30
G02F 1/1368
G09F 9/00
H01L 21/336
H01L 21/8234
H01L 21/8236
H01L 27/088
H01L 29/786
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: MURASHIGE Shogo
村重 正悟
TAKEDA Yujiro
武田 悠二郎
ODA Akihiro
織田 明博
MATSUKIZONO Hiroshi
松木薗 広志
TANAKA Kohhei
田中 耕平
Title: SUBSTRAT DE MATRICE ACTIVE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
Abstract:
Un substrat de matrice active selon un mode de réalisation de la présente invention comporte une pluralité de premiers TFT disposés dans une région de non-affichage, et un circuit périphérique contenant la pluralité de premiers TFT. Chacun des premiers TFT contient une couche d'oxyde semi-conductrice. Le substrat de matrice active comprend une couche métallique de grille, une première couche d'isolation située sur la couche métallique de grille, une couche métallique de source située sur la première couche d'isolation, une deuxième couche d'isolation située sur la couche d'oxyde semi-conductrice et de la couche métallique de source, une première couche conductrice transparente située sur la deuxième couche d'isolation, une troisième couche d'isolation située sur la première couche conductrice transparente, et une deuxième couche conductrice transparente située sur la troisième couche d'isolation. La deuxième couche d'isolation contient une partie de définition de longueur de canal ayant une paire de bords qui s'alignent avec une extrémité côté région de contact de source et une extrémité côté région de contact de drain d'une région de canal de la couche d'oxyde semi-conductrice. Une électrode parmi une électrode de source et une électrode de drain du premier TFT est une première électrode transparente incluse dans la première couche conductrice transparente, et l'autre est une deuxième électrode transparente incluse dans la deuxième couche conductrice transparente.