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1. (WO2018198819) DISPOSITIF D'INSPECTION DE TRANCHE

Pub. No.:    WO/2018/198819    International Application No.:    PCT/JP2018/015497
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 14 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/66
H01L 21/02
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: AKIYAMA, Shuji
秋山 収司
HOSAKA, Hiroki
保坂 広樹
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION DE TRANCHE
Abstract:
Un dispositif d'inspection de tranche selon un mode de réalisation de la présente invention comprend une pluralité de parties d'inspection agencées dans la direction de la hauteur et dans la direction transversale, une paire de moyens de circulation d'air pour faire circuler de l'air dans la région de circulation étant disposée aux deux extrémités dans la direction longitudinale d'une région de circulation comprenant la pluralité de parties d'inspection agencées dans la direction transversale.