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1. (WO2018198723) SYSTÈME DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE

Pub. No.:    WO/2018/198723    International Application No.:    PCT/JP2018/014702
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 07 01:59:59 CEST 2018
IPC: C02F 1/42
B01J 39/05
B01J 39/20
B01J 41/05
B01J 41/14
C02F 1/32
C02F 1/44
C02F 9/12
Applicants: NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD.
野村マイクロ・サイエンス株式会社
Inventors: AMAYA Toru
天谷 徹
MARUYAMA Kazuo
丸山 和郎
Title: SYSTÈME DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE
Abstract:
L'invention concerne un système de production d'eau ultrapure équipé d'une résine échangeuse d'ions mélangée à une résine d'adsorption de bore, de l'eau ultra pure de grande qualité ayant de faibles concentrations de bore et de COT pouvant être obtenue pendant une longue durée. Le système de production d'eau ultrapure produit de l'eau ultra pure en traitant de l'eau à traiter contenant un constituant à base de bore et un constituant à base de carbone organique total, et comprend, dans l'ordre : un premier dispositif d'oxydation par ultraviolets servant à exposer l'eau à traiter à une lumière ultraviolette à une dose d'exposition aux ultraviolets de 0,05 à 0,2 kWh/m3 ; un échangeur d'ions mélangé à une résine d'adsorption de bore comprenant une résine à lit mixte à échange d'anions et adsorption de bore obtenue en mélangeant une résine d'adsorption de bore et une résine échangeuse d'anions ; un second dispositif d'oxydation aux ultraviolets ; et un dispositif à résine échangeuse d'ions à lit mixte sans régénération.