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1. (WO2018198613) PROCÉDÉ ET PROGRAMME DE REPRODUCTION D’HOLOGRAPHIE
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N° de publication : WO/2018/198613 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/011397
Date de publication : 01.11.2018 Date de dépôt international : 22.03.2018
CIB :
H01J 37/295 (2006.01) ,H01J 37/22 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26
Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
295
Tubes à diffraction électronique ou ionique
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
22
Dispositifs optiques ou photographiques associés au tube
Déposants :
国立研究開発法人理化学研究所 RIKEN [JP/JP]; 埼玉県和光市広沢2番1号 2-1 Hirosawa, Wako-shi, Saitama 3510198, JP
Inventeurs :
原田 研 HARADA Ken; JP
新津 甲大 NIITSU Koudai; JP
嶌田 惠子 SHIMADA Keiko; JP
Mandataire :
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
Données relatives à la priorité :
2017-09040828.04.2017JP
Titre (EN) HOLOGRAPHY REPRODUCTION METHOD AND PROGRAM
(FR) PROCÉDÉ ET PROGRAMME DE REPRODUCTION D’HOLOGRAPHIE
(JA) ホログラフィー再生方法及びプログラム
Abrégé :
(EN) Provided is a lensless Fourier transform holography high-accuracy reproduction method that uses a charged particle beam device. A sample can be held on a diffraction surface of a diffraction grating that is provided downstream in a traveling direction of a charged particle beam and that is composed of a material permeable to the charged particle beam; an image of the charged particle beam that has passed through the diffraction surface is formed; and the formed image is detected. An opening region of the diffraction grating is made smaller than a radiation region of the charged particle beam in the diffraction grating, and image data is obtained in a state in which the radiation region of the charged particle beam diffracted by the diffraction grating is within a radiation region of the charged particle beam that has passed through the diffraction grating (S701, S702); a plurality of holograms obtained on the basis of this image data are Fourier transformed (S703); and an intensity distribution image is displayed and stored (S703, S704).
(FR) L’invention concerne un procédé de reproduction à haute précision d’holographie à transformée de Fourier sans lentilles qui utilise un dispositif à faisceau de particules chargées. Un échantillon peut être maintenu sur une surface de diffraction d’un réseau de diffraction qui est disposé en aval dans une direction de trajet d’un faisceau de particules chargées et qui est composée d’un matériau perméable au faisceau de particules chargées ; une image du faisceau de particules chargées qui a traversé la surface de diffraction est formée ; et l’image formée est détectée. Une zone d’ouverture du réseau de diffraction est rendue plus petites qu’une zone de rayonnement du faisceau de particules chargées dans le réseau de diffraction, et des données d’images sont obtenues dans un état dans lequel la zone de rayonnement du faisceau de particules chargées diffracté par le réseau de diffraction se trouve dans une zone de rayonnement du faisceau de particules chargées qui a traversé le réseau de diffraction (S701, S702) ; une pluralité d’hologrammes obtenus sur la base de ces données d’images sont soumis à une transformée de Fourier (S703) ; et une image de distribution d’intensité est affichée et sauvegardée (S703, S704).
(JA) 荷電粒子線装置よるレンズレス・フーリエ変換ホログラフィーの高精度な再生方法を提供する。荷電粒子線の進行方向下流側に備えられ、荷電粒子線に対して透過性を有する材料からなる回折格子の回折面に試料を保持可能とし、回折面を通過した荷電粒子線を結像して、結像を検出する。回折格子の開口領域を、荷電粒子線の回折格子への照射領域よりも小さくして、回折格子により回折された荷電粒子線の照射領域が、回折格子を透過した荷電粒子線の照射領域内にある状態として画像データを得(S701、S702)、この画像データに基づき得られる複数のホログラムをフーリエ変換し(S703)、強度分布像を表示、記憶する(S703、S704)。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)