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1. (WO2018198311) MASQUE ET DISPOSITIF DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE

Pub. No.:    WO/2018/198311    International Application No.:    PCT/JP2017/016929
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 16/04
G09F 9/00
H01L 27/32
H01L 51/50
H05B 33/10
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: MIYAMOTO, Yoshinobu
宮本 恵信
HIRASE, Takeshi
平瀬 剛
SONODA, Tohru
園田 通
MATSUI, Akihiro
松井 章宏
OCHI, Hisao
越智 久雄
OCHI, Takashi
越智 貴志
SENOO, Tohru
妹尾 亨
TAKAHASHI, Jumpei
高橋 純平
Title: MASQUE ET DISPOSITIF DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE
Abstract:
La présente invention concerne un masque comportant une partie feuille (13) sur laquelle sont formées une ou plusieurs parties ouverture de masque (19), et des premières parties saillantes (14) qui constituent une surface côté partie feuille (13) opposée au substrat (1a) et ont une forme de cadre suivant le bord d'au moins une des parties ouverture de masque (19) de la, ou de la pluralité de, partie(s) ouverture de masque (19). Un film mince correspondant aux dimensions de conception et dont tout effet de flou est supprimé peut ainsi être formé sur le substrat.