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1. (WO2018198302) DISPOSITIF D'ÉTIRAGE, DISPOSITIF DE FABRICATION DE MASQUE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR

Pub. No.:    WO/2018/198302    International Application No.:    PCT/JP2017/016886
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/24
C23C 14/04
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: NAKAJIMA, Shinsaku
中島 信作
Title: DISPOSITIF D'ÉTIRAGE, DISPOSITIF DE FABRICATION DE MASQUE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif d'étirage (1) qui confère une tension à un masque de dépôt en phase vapeur (5), le dispositif d'étirage (1) étant pourvu de : dispositifs d'entraînement de tension (31-34) pour étirer des parties d'extrémité de tension (51-54) disposés à au moins deux emplacements sur chacune des deux extrémités d'un masque de dépôt en phase vapeur (1) de façon à conférer une résistance à la traction au masque de dépôt en phase vapeur (5); des mécanismes rotatifs (21-24) pour faire tourner les parties d'extrémité de tension (51-54) le long de parties de bord d'extrémité dans la direction dans laquelle le masque de dépôt en phase vapeur (5) est étiré autour d'arbres d'entraînement (21a-24a) s'étendant dans une direction perpendiculaire à la surface du masque de dépôt en phase vapeur (5); des capteurs de déplacement 8, 9 pour détecter un déplacement des parties de bord d'extrémité sur lesquels la résistance à la traction fonctionne dans le masque de dépôt en phase vapeur (5); et un dispositif de commande (1) pour commander les mécanismes de rotation (21-24) de façon à faire tourner les mécanismes de rotation (21-24) à l'angle de rotation et dans une direction de rotation en correspondance avec le déplacement détecté par les capteurs de déplacement (8, 9).