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1. (WO2018198288) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE DE POMPE, DISPOSITIF DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET POMPE À VIDE
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N° de publication : WO/2018/198288 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/016818
Date de publication : 01.11.2018 Date de dépôt international : 27.04.2017
CIB :
F04B 49/10 (2006.01) ,F04D 19/04 (2006.01)
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
B
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES
49
Commande des "machines", pompes ou installations de pompage ou mesures de sécurité les concernant non prévues dans les groupes F04B1/-F04B47/179
10
Autres mesures de sécurité
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
D
POMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
19
Pompes à flux axial spécialement adaptées aux fluides compressibles
02
Pompes multiétagées
04
spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p.ex. pompes moléculaires
Déposants :
株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
Inventeurs :
玉井 雄介 TAMAI, Yusuke; JP
野田 陽 NODA, Akira; JP
Mandataire :
永井 冬紀 NAGAI, Fuyuki; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PUMP MONITORING DEVICE, VACUUM PROCESSING DEVICE, AND VACUUM PUMP
(FR) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE DE POMPE, DISPOSITIF DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET POMPE À VIDE
(JA) ポンプ監視装置、真空処理装置および真空ポンプ
Abrégé :
(EN) Provided is a pump monitoring device that detects abnormalities in a plurality of vacuum pumps which are connected to the same chamber. The pump monitoring device compares signals indicating the rotation state of the pump rotor of each of the plurality of vacuum pumps, and on the basis of such results, estimates if an abnormality is occurring in any the plurality of vacuum pumps.
(FR) Dispositif de surveillance de pompe qui détecte des anomalies dans une pluralité de pompes à vide qui sont reliées à la même chambre. Le dispositif de surveillance de pompe compare des signaux indiquant l'état de rotation du rotor de pompe de chaque pompe de la pluralité de pompes à vide, et sur la base de ces résultats, estime si une anomalie se produit dans l'une quelconque de la pluralité de pompes à vide.
(JA) 同一のチャンバに接続されている複数の真空ポンプの異常を検出するポンプ監視装置であって、ポンプ監視装置は、複数の前記真空ポンプの各々のポンプロータの回転状態を表す信号を比較した結果に基づいて、複数の前記真空ポンプのいずれかに異常が生じていることを推定する。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)