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1. (WO2018198227) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE UVE

Pub. No.:    WO/2018/198227    International Application No.:    PCT/JP2017/016542
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Apr 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: OKAZAKI, Shinji
岡崎 信次
WAKABAYASHI, Osamu
若林 理
Title: DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE UVE
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de génération de lumière UVE (10a) comprenant : A. un anneau de stockage d'électrons (12) incluant une première portion linéaire (46a) et une deuxième portion linéaire (46b) ; B. un dispositif d'alimentation en électrons (11) qui alimente l'anneau de stockage d'électrons (12) en électrons pour un faisceau d'électrons ; C. une cavité d'accélérateur à haute fréquence (43) disposée dans la première portion linéaire (46a) pour accélérer le faisceau d'électrons de telle sorte que la longueur Lez du faisceau d'électrons vérifie la relation 0,09 m ≤ Lez ≤ 3 m ; et D. un ondulateur (14) disposé dans la deuxième portion linéaire (46b) pour délivrer en sortie de la lumière UVE lorsque le faisceau d'électrons est incident sur celui-ci. Il est encore plus préférable que la longueur Lez du faisceau d'électrons vérifie la relation 0,09 m ≤ Lez ≤ 0,9 m.