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1. (WO2018197959) SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ALIGNEMENT D'ÉCHANTILLON DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À TRANSMISSION

Pub. No.:    WO/2018/197959    International Application No.:    PCT/IB2018/050910
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Feb 15 00:59:59 CET 2018
IPC: H01J 37/28
H01J 37/20
H01J 37/22
H01J 37/147
H01J 37/304
H01J 37/26
Applicants: KING ABDULLAH UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Inventors: ZHANG, Daliang
HAN, Yu
LI, Kun
ZHU, Yihan
Title: SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ALIGNEMENT D'ÉCHANTILLON DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À TRANSMISSION
Abstract:
L'invention porte sur un système et un procédé qui concernent l'application d'un faisceau d'électrons à un échantillon et l'obtention d'une image de l'échantillon à l'aide du faisceau d'électrons appliqué. Une orientation de l'échantillon par rapport à l'axe de la zone de l'échantillon est automatiquement déterminée sur la base d'une distribution de réflexions dans l'image. L'orientation de l'échantillon est automatiquement réglée pour s'aligner avec l'axe de la zone de l'échantillon sur la base de l'orientation déterminée.