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1. (WO2018197834) SYSTÈME DE POMPAGE À VIDE

Pub. No.:    WO/2018/197834    International Application No.:    PCT/GB2018/050906
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Apr 05 01:59:59 CEST 2018
IPC: F04C 23/00
B01D 53/00
F04C 25/02
F04D 19/04
F04D 25/16
H01L 21/67
Applicants: EDWARDS LIMITED
Inventors: BAILEY, Christopher Mark
CZERNIAK, Michael Roger
Title: SYSTÈME DE POMPAGE À VIDE
Abstract:
L'invention concerne un système de pompage à vide (10) qui comprend une pluralité d'agencements de pompage à vide (12, 14, 16) pour évacuer un flux de gaz inflammable et évacuer le flux de gaz à travers une sortie d'échappement (78). Un boîtier loge les agencements de pompage à vide et forme un conduit d'écoulement d'air pour un écoulement d'air (70) pour le mélanger avec le flux de gaz d'échappement émis par la sortie d'échappement dans une région de mélange (80) dans le boîtier. Un générateur de flux d'air (77) génère un flux d'air à travers le conduit d'écoulement d'air pour provoquer le mélange d'air avec le flux de gaz inflammable à un pourcentage du gaz inflammable dans le flux d'air inférieur à la limite d'inflammabilité inférieure du gaz inflammable. Un capteur de flux d'air (130) détecte le flux d'air pour déterminer si le flux d'air est suffisant pour diluer le gaz inflammable à un niveau inférieur au dit pourcentage.