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1. (WO2018197702) UNITÉ DE CONVERTISSEUR DE PUISSANCE, ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT AU PLASMA ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PLUSIEURS TRAITEMENTS DE PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/197702    International Application No.:    PCT/EP2018/060954
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/32
C23C 14/34
H01J 37/34
H02M 7/00
Applicants: TRUMPF HÜTTINGER GMBH + CO. KG
Inventors: ENGELSTAEDTER, Jan Peter
HEINTZE, Moritz
SWIATNICKI, Jakub
Title: UNITÉ DE CONVERTISSEUR DE PUISSANCE, ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT AU PLASMA ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PLUSIEURS TRAITEMENTS DE PLASMA
Abstract:
L'invention concerne une unité de conversion de puissance (1, 1') capable de convertir une puissance d'entrée électrique en une puissance de sortie bipolaire et de délivrer cette puissance de sortie à au moins deux chambres de traitement au plasma indépendantes (9a, 9b.. 9n), l'unité (1, 1') comprenant : un port d'entrée de puissance (2) destiné à être relié à une grille de distribution d'énergie électrique (7), au moins deux, de préférence plus de deux, ports de sortie de puissance (3a, 3b, 3n) destinés chacun à être reliés à l'une des chambres de traitement au plasma (9a, 9b,... 9n), un dispositif de commande (4) configuré pour commander l'unité (1, 1') pour délivrer la puissance de sortie bipolaire aux ports de sortie de puissance (3a, 3b,.. 3n), à l'aide de paramètres de commande d'au moins l'un parmi : la puissance, la tension, le courant, la fréquence d'excitation, ou le seuil pour des mesures de protection, en obtenant un ensemble complet de valeurs souhaitées pour les paramètres pour les ports de sortie (3a, 3b, 3n), calculer si l'unité de conversion de puissance (1, 1') est capable de délivrer chaque paramètre souhaité à tous les ports de sortie (3a, 3b,.. 3n), et si tel est le cas, calculer une séquence d'impulsions de fourniture de puissance aux ports de sortie (3a, 3b,.. 3n) pour fournir la puissance aux traitements au plasma.