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1. (WO2018197699) UNITÉ DE CONVERTISSEUR DE SECTEUR, ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT AU PLASMA ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PLUSIEURS TRAITEMENTS AU PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/197699    International Application No.:    PCT/EP2018/060951
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/32
C23C 14/34
H01J 37/34
H02M 7/00
Applicants: TRUMPF HÜTTINGER GMBH + CO. KG
Inventors: ENGELSTAEDTER, Jan Peter
OZIMEK, Pawel
RUDA, Krzysztof
SWIATNICKI, Jakub
Title: UNITÉ DE CONVERTISSEUR DE SECTEUR, ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT AU PLASMA ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PLUSIEURS TRAITEMENTS AU PLASMA
Abstract:
L'invention concerne une unité de convertisseur de secteur (1, 1') capable de convertir une puissance d'entrée électrique en une puissance de sortie bipolaire et de délivrer cette puissance de sortie à au moins deux chambres de traitement au plasma (9a, 9b,... 9n) indépendantes, l'unité (1, 1') comprenant : un port d'entrée de puissance (2) destiné à être connecté à un réseau de distribution d'énergie électrique (7), au moins deux, de préférence plus de deux, ports de sortie de puissance (3a, 3b,... 3n) destinés chacun à être connectés à l'une des chambres de traitement au plasma (9a, 9b,... 9n), un dispositif de commande (4) conçu pour commander l'unité (1, 1') en vue de délivrer la puissance de sortie bipolaire aux ports de sortie de puissance (3a, 3b,... 3n), à l'aide de paramètres de commande d'au moins un élément parmi : la puissance, la tension, le courant, la fréquence d'excitation ou le seuil pour des mesures de protection, de telle sorte qu'au moins l'un des paramètres de commande au niveau d'un premier port de sortie de puissance (3a) est différent du paramètre de commande correspondant au niveau d'un port de sortie de puissance (3b,... 3n) différent.