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1. (WO2018197696) UNITÉ DE CONVERSION DE PUISSANCE, ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT AU PLASMA ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PLUSIEURS TRAITEMENTS AU PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/197696    International Application No.:    PCT/EP2018/060939
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/32
C23C 14/34
H01J 37/34
H02J 3/36
H02M 7/00
Applicants: TRUMPF HÜTTINGER GMBH + CO. KG
Inventors: ENGELSTAEDTER, Jan Peter
RUDA, Krzysztof
SWIATNICKI, Jakub
Title: UNITÉ DE CONVERSION DE PUISSANCE, ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT AU PLASMA ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PLUSIEURS TRAITEMENTS AU PLASMA
Abstract:
L'invention concerne une unité de conversion de puissance (1, 1') capable de convertir une puissance d'entrée électrique en une puissance de sortie bipolaire et de délivrer cette puissance de sortie à au moins deux chambres de traitement au plasma indépendantes (9a, 9b,.. 9n), l'unité (1, 1') comprenant : - un port d'entrée de puissance (2) destiné à être connecté à une grille de distribution d'énergie électrique (7), - au moins deux, de préférence plus de deux, ports de sortie de puissance (3a, 3b,.. 3n) chacun pour une connexion à l'une des chambres de traitement au plasma (9a, 9b,.. 9n), - un dispositif de commande (4) configuré pour commander l'unité (1, 1') pour délivrer la puissance de sortie bipolaire aux ports de sortie de puissance (3a, 3b,.. 3n), à l'aide de paramètres de commande d'au moins l'un parmi : la puissance, la tension, le courant, la fréquence d'excitation, ou un seuil pour des mesures de protection, tel que le dispositif de commande (4) comprenant une alimentation électrique virtuelle (24a, 24b,.. 24n) pour chaque port de sortie (3a, 3b,.. 3n), chaque alimentation électrique virtuelle (24a, 24b,.. 24n) comprenant un ensemble complet séparé de tous les paramètres fixes et variables dans le temps et des états internes associés au fonctionnement de chaque port de sortie individuel (3a, 3b,.. 3n) est maintenu dans le dispositif de commande (4).