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1. (WO2018197535) COMPOSITION DE SILOXANE PHOTOSENSIBLE DE TYPE POSITIF ET FILM DURCI FORMÉ À L'AIDE DE CELLE-CI

Pub. No.:    WO/2018/197535    International Application No.:    PCT/EP2018/060540
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Apr 26 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/022
G03F 7/023
G03F 7/031
G03F 7/075
Applicants: MERCK PATENT GMBH
Inventors: YOSHIDA, Naofumi
TAKAHASHI, Megumi
TANIGUCHI, Katsuto
Title: COMPOSITION DE SILOXANE PHOTOSENSIBLE DE TYPE POSITIF ET FILM DURCI FORMÉ À L'AIDE DE CELLE-CI
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est de fournir une composition photosensible de type positif permettant de former un film durci ayant une transparence élevée. La solution selon l'invention porte sur une composition de siloxane photosensible de type positif comprenant : un polysiloxane, un dérivé de diazonaphtoquinone, un additif ayant une structure d'ammonium quaternaire et la capacité d'interagir avec le polysiloxane, et un solvant. Le polysiloxane et l'additif interagissent l'un avec l'autre avant l'exposition, mais perdent l'interaction après exposition.