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1. (WO2018197144) OPTIMISATION D'UNE SÉQUENCE DE PROCESSUS DE FABRICATION D'UNITÉS DE PRODUIT

Pub. No.:    WO/2018/197144    International Application No.:    PCT/EP2018/057961
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Mar 29 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/20
G05B 19/418
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: WILDENBERG, Jochem, Sebastiaan
JOCHEMSEN, Marinus
JENSEN, Erik
WALLERBOS, Erik, Johannes, Maria
RIJNIERSE, Cornelis, Johannes
RAJASEKHARAN, Bijoy
WERKMAN, Roy
SCHOONUS, Jurgen, Johannes, Henderikus, Maria
Title: OPTIMISATION D'UNE SÉQUENCE DE PROCESSUS DE FABRICATION D'UNITÉS DE PRODUIT
Abstract:
L'invention concerne un procédé d'optimisation d'une séquence de processus de fabrication d'unités de produit, comprenant les étapes suivantes : association (406) de résultats de mesure de paramètres de performance (empreintes numériques) aux caractéristiques (contexte) de processus enregistrées ; obtention (408) d'une caractéristique (contexte) d'un processus précédent (par exemple dépôt) dans la séquence déjà exécutée sur une unité de produit ; obtention (410) d'une caractéristique (contexte) d'un processus ultérieur (exposition) dans la séquence à exécuter sur l'unité de produit ; détermination (412) d'un paramètre de performance (empreinte numérique) prédit de l'unité de produit associée à la séquence de processus précédents et suivants en utilisant les caractéristiques obtenues pour récupérer des résultats de mesure des paramètres de performance (empreintes numériques) correspondant aux caractéristiques enregistrées ; et détermination (414, 416) des corrections à appliquer (418) aux futurs processus (par exemple exposition, gravure) dans la séquence à exécuter sur l'unité de produit, en se basant sur le paramètre de performance prédit déterminé.